[供应] 爱德华干式真空泵 iH160 维修

详细说明：iH160 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59010908
iH160 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59010945
iH160 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59010946
iH160 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59010957
Edwards 高**半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照**高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时**大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
  
Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。


应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD


功能和优势

优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时**大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器，而**五**泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

峰值速度:     165 m3h-1
              97 cfm
              2750 l min-1
**限真空:     1 x 10-2 mbar
              7.5 x 10-3 Torr
              1 Pa
典型轴封氮流量: 4 slm
进气口连接:  ISO63
出口连接:  NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量: 120 l h-1
                               2 l min-1 
重量:  244 kg
**限功率输入: 3.1 kW
电机额定功率: 5.0 kW
油容量:       0.85 l