■标配 □选配
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■测量范围(XYZ):300x 300x 250 mm
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■测量系统尺寸(LWH):80 x 85 x 80 cm,160kg
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■XYZ光栅尺分辨率:0.5 μm
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□XYZ光栅尺分辨率:0.1μm
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■马达驱动:直流伺服马达
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■平台速度:Z轴100mm/秒;X,Y轴 200mm/秒
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■工作台:带有夹具孔的加固平台,可拆卸平板玻璃,,30kg承载力
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■变焦镜:OGP**所有的12:1 AccuCentric® 马达驱动、自动校准变焦镜, 校准位置达25个
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■物镜:1x
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■照明:LED背光(绿光), TTL同轴LED表面光(白光),OGP**的SmartRing?LED环光
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■摄像机:1/2″ 高分辨率彩色CCD,768x 494象素阵列
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■影像处理:10:1次象素分辨率,256灰色**
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■电力要求:115/230vac,50/60Hz,1Ф , 700W
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■额定温度:18-22℃ + 1℃/小时,30-80%湿度(无冷凝水),振动<0.001克,低于15HZ
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■操作环境:15-30℃
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■操作系统:Microsoft® WindowsTM XP Professional
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■测量软件:OGP Measure-X测量软件
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■XY平面精度:E2=(1.8+5L/1000)μm
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■Z轴线性精度:E1=(2.5+5L/1000)μm
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□Z轴线性精度:E1=(2.0+6L/1000)μm (选用2倍透镜/栅格投影仪)
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□Z轴线性精度:E1=(1.5+6L/1000)μm (选用TTL激光/5倍替换透镜)
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□Z轴线性精度:E1=(1.4+6L/1000)μm (选用DRS-300或DRS-500激光、TP-20或者TP-200探针)
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